经过近些年的发展，超音频感应退火电源在老式电源的基础上正向着模块化、高频化、大功率化和智能化方向发展，以及向着节能型与低谐波污染的方向发展。具体体现在下面的几个方面：

（1）逆变器器件除采用晶闸管外，更多地采用了能承受高电压的IGBT（4500～7000V)作为逆变器的开关器件，使逆变器能工作在高的直流电压下，优点在于同样功率其阳极电流小，逆变器变换效率高，线路损耗小，从而达到节能的目的。IGBT已广泛应用在大功率的中频和超音频感应加热电源中，而MOSFET广泛应用于高频的中大功率感应加热电源中。

（2）采用组合式的功率输出，可方便提高输出功率，输出功率可达到(1~2) x l04KW。

（3）除传统的6脉波（三相可控或三相不可控整流的）超音频电源外，已广泛采用12脉波和24脉波超音频电源，它可降低谐波对电网的污染。三相6脉波、三相12脉波、三相24脉波的总谐波方均根据分别约等于直流电流平均值的4.20%、1.03%、0.26%。

（4）广泛采用智能控制系统对超音频感应退火电源进行控制。这包括：①智能控制器，如采用DSP为核心来设计数字控制器。②智能控制算法，除传统的PID控制算法外，还有自适应控制算法、模糊控制算法、BP（Back Propagation反向传播）神经元网络控制算法等。③采用标准化的信号传输方式，如采用工业控制总线CAN-US和PROFIBUS，光纤信号传送等。这样的信号传输方式可以降低干扰信号对控制信号的影响，提高了控制器的稳定性。

（5）超音频感应退火电源无论在功率还是在频率方面都有了很大提高。

（6）出现了越来越多的超音频感应加热电源的调功方法，便于选择和使用。

（7）有越来越多的学科（如金属材料及热处理、焊接、自动控制学科、电子信息及电子技术应用等专业）的研究人员和工程技术人员在从事超音频感应退火电源的电路控制器及控制算法方面的研究，这将有利于我国感应加热电源的发展。